中科院光电技术研究所项目副总师胡松透露，新验收的光刻机，加工能力介于深紫外级和极紫外级之间，使用了365纳米紫外光的汞灯，一只费用仅为数万元，而光刻机整机价格在百万元至千万元级。

北京时间11月29日，中科院光电技术研究所宣布国家重大科研装备研制项目"超分辨光刻装备研制"通过验收，成为全球首台用紫外光源实现的22纳米分辨率的光刻机。

全新路线，完美避开国外厂商专利

该光刻机在365纳米波长光源下，单次曝光最高线宽分辨率达到22纳米，相当于1/17波长。项目在原理上突破分辨力衍射极限，建立了一条高分辨、大面积的纳米光刻装备研发新路线。